研究

 まるでブロックを積み上げておもちゃを作るように、望んだところに思い通りの材料を積み上げて電子回路を作る。これを実現するためにCVD(化学的気相成長)という方法を使い結晶や膜を作ります。

(1)プラズマCVDによる成長制御

 空に浮かぶオーロラのように美しいプラズマを実験装置内に作り、化学反応を積極的に利用することで今までよりも低温で高品質の半導体や絶縁膜を作ります。

(2)薄膜・結晶成長評価

 そして、作った材料の原子配列はどうか、電気的特性はどうか、光との反応はどうか、を調べます。
  
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Left: 輝くプラズマ、 Right: 自作結晶シリコン太陽電池(右側:単セル、1cm角)によるLED点灯

現在、有機EL素子などの保護に使われる、透明でバリア性の高いシリコン窒化膜の低温成膜に力を入れて研究しています。