研究概要

遠い星や物質から放たれる光のスペクトルを通じて、それら内部に含まれる電子や原子などのミクロな運動状態を知ることが可能です。ここでは、電子と陽イオンに電離することで火の玉のように光輝くプラズマという高エネルギー状態のスペクトルについて研究しています。

代表的な研究テーマ

高出力パルスマグネトロンスパッタ法の開発

この研究室では、プラズマを発生させる装置を開発しています。従来の直流放電を用いたマグネトロンスパッタ法（ｄｃＭＳ）に比べて、瞬間的により高い放電電力を投じることのできるパルス放電型の高圧パルスマグネトロンスパッタ法（ＨＰＰＭＳ）では、多価イオン等を含む高エネルギー粒子をともなうプラズマを生成することが可能となるため、従来のマグネトロンスパッタでは実現できない高硬度、高平滑性、高密着性をもった成膜が可能となります。そのような特徴を備えたＨＰＰＭＳは、自動車やロボットを製造する際に用いられる機械加工用の超硬切削工具等への成膜技術として、近年注目を集めています。

プラズマ発光と分光学

高圧パルスマグネトロンスパッタ法（ＨＰＰＭＳ）で生成するプラズマに対するプラズマ診断法を開発しています。プラズマ発光については、発光スペクトルの測定を通じてプラズマ内発光粒子のエネルギー状態や温度分布を原子・分子分光学的に調べています。また、プラズマ内に含まれる生成種（発光種、非発光種、またはそれらイオン種）の成分分析や運動エネルギー分布については、ＨＰＰＭＳと組み合わせたリフレクトロン型飛行時間質量分析装置を用いて調べることを予定しています。この開発研究では、プラズマの状態制御による精密成膜の実現を目指しています。

研究風景

自分たちで装置を設計したり…。

精密部品を組み立てたり…。

ときには、高所作業を行ったり…。

研究活動業績のページへ
研究室ホームページへ