薄膜デバイス研究室

研究室スタッフ

安田 洋司 助教
 
専門分野
・ 電気電子材料
・ 薄膜作製技術
・ 磁気記録
2021年度メンバー

学部4年
・江藤 ・澁谷 ・河村

研究概要

小型・軽量、高性能でかつ省電力・低コストな電子機器を提供する!そんな夢を実現するための基盤技術が薄膜技術です。皆さんの周囲にはデジカメや携帯電話、スマホ、パソコン、テレビやビデオなど、多くの電子機器が溢れています。車やロボットも薄膜技術を駆使して作られた多くの電子部品から構成されており、さらなる改善のための技術開発が進められています。私達の研究室では、それらの電子機器、特にディスプレーや太陽電池、磁気記録で使われる薄膜の機能や特性改善を実現するための薄膜作製技術の研究に取り組んでいます。薄膜技術は明日の日本の物作り社会を支える基盤技術です。ぜひ私達と一緒にそれらの技術を学び研究してみませんか?

代表的な研究テーマ

低ダメージ低温成膜技術の開発

フレキシブルで軽量かつ省エネを実現できる次世代ディスプレーや照明素子として有機材料で様々な素子を実現する研究が世界中で進められています。しかし有機材料は極めてデリケートで、これまで様々な半導体素子を実現するために開発されてきた薄膜技術では、積み重ねるときに有機層にダメージを与えてしまい、所望の特性を持つ有機素子を得ることができません。私達は、そのようなデリケートな有機デバイスを作製するプロセスでも使用可能な独自の低ダメージ成膜技術の開発とそれを用いた有機EL素子作製の研究に取り組んでいます。

低ダメージ定温成膜技術の開発

光触媒用酸化物薄膜作製技術の開発

光触媒材料は、曇らない汚れない表面の実現のみならず抗菌作用や有害物質の分解など、私達の生活環境を改善するために急速にその応用分野を広げています。私達の研究室では、様々な薄膜技術を駆使して、光触媒特性を持った膜を様々な基板材料の上に、低温で良好な光触媒特性を持つ薄膜を堆積する成膜技術を実現するための研究に取り組んでいます。プラズマやイオンを駆使してナノメートルオーダーの微細構造を制御することで所望な特性を発現させる。薄膜技術は無限の可能性を持った明日の物作り技術です。

光触媒用酸化物薄膜作成技術の開発

研究風景

走査型電子顕微鏡による薄膜表面の観察

走査型電子顕微鏡による薄膜表面の観察
有機EL素子の作製作業中

有機EL素子の作製作業中
薄膜作製のための実験室風景

薄膜作製のための実験室風景
 

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